首页 > 产品中心 > 等离子清洗设备 > 实验室用设备SY-DT系列 实验用低温等离子体处理仪

实验室低温等离子处理仪

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1、产品特点

◆高可靠性,高重复性

◆宽泛的参数调节范围,可以使用多种气体,实现最大范围的参数选择

◆便捷化的操作模式,方便实验人员操作。

◆简单的维护方法

◆产品体积小

◆适应不同形状材料的处理

◆设备可选型号齐全,有不锈钢、石英、铝合金等不同材质真空腔;40KHz,13.56MHz等离子发生源等可选。也有全自动、手动版本可选择。

 

2、主要技术参数

设备型号

SY-DT01

SY-DT07

SY-DT02

SY-DT02S

SY-DT03

SY-DT03S

整机结构

台式

柜式可移动

外形尺寸

625x500x442

500x500x320

700x700x2093(含指示灯底轮)

设备重量

54KG

75KG

250KG

250KG

250KG

250KG

腔体规格

圆形,3L

方形,9L

圆形,7L

方形,17L

圆形,7L

方形,17L

腔体尺寸

Φ140x210

210x210x220

Φ210x210

260x260x260

Φ210x210

260x260x260

电极规格

外置环形

内置平板式

外置环形

内置平板式

外置环形

内置平板式

载物尺寸

120x180

170x194

180x185

220x185

180x185

220x185

电    源

高频40KHz

射频13.56MHz

放电功率

300W

1000W

500W

放电形式

辉光放电

真 空 泵

外置机械泵 抽速:3L/S

内置机械泵 抽速:6L/S

控制系统

手动

PLC自动

进气路数

2路进气

放电气压

5-80Pa

可连续   放电时间

>30min

使用气体

氧气、氩气、氮气、空气、氦气、氢气、少量蒸汽等

 

3、产品特点

◆适用于小尺寸材料的表面处理

◆适用于高分子材料、陶瓷、玻璃、硅片、金属的表面处理,不合适液体、挥发性强的物质。

◆能适用块状、薄膜状、复杂几何构型、少量粉末材料的处理

◆能实现表面清洗、活化、有机物沉积、接枝、消毒、刻蚀等处理要求。

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