1、产品特点
◆高可靠性,高重复性
◆宽泛的参数调节范围,可以使用多种气体,实现最大范围的参数选择
◆便捷化的操作模式,方便实验人员操作。
◆简单的维护方法
◆产品体积小
◆适应不同形状材料的处理
◆设备可选型号齐全,有不锈钢、石英、铝合金等不同材质真空腔;40KHz,13.56MHz等离子发生源等可选。也有全自动、手动版本可选择。
2、主要技术参数
设备型号 |
SY-DT01 |
SY-DT07 |
SY-DT02 |
SY-DT02S |
SY-DT03 |
SY-DT03S |
整机结构 |
台式 |
柜式可移动 |
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外形尺寸 |
625x500x442 |
500x500x320 |
700x700x2093(含指示灯底轮) |
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设备重量 |
54KG |
75KG |
250KG |
250KG |
250KG |
250KG |
腔体规格 |
圆形,3L |
方形,9L |
圆形,7L |
方形,17L |
圆形,7L |
方形,17L |
腔体尺寸 |
Φ140x210 |
210x210x220 |
Φ210x210 |
260x260x260 |
Φ210x210 |
260x260x260 |
电极规格 |
外置环形 |
内置平板式 |
外置环形 |
内置平板式 |
外置环形 |
内置平板式 |
载物尺寸 |
120x180 |
170x194 |
180x185 |
220x185 |
180x185 |
220x185 |
电 源 |
高频40KHz |
射频13.56MHz |
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放电功率 |
300W |
1000W |
500W |
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放电形式 |
辉光放电 |
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真 空 泵 |
外置机械泵 抽速:3L/S |
内置机械泵 抽速:6L/S |
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控制系统 |
手动 |
PLC自动 |
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进气路数 |
2路进气 |
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放电气压 |
5-80Pa |
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可连续 放电时间 |
>30min |
|||||
使用气体 |
氧气、氩气、氮气、空气、氦气、氢气、少量蒸汽等 |
3、产品特点
◆适用于小尺寸材料的表面处理
◆适用于高分子材料、陶瓷、玻璃、硅片、金属的表面处理,不合适液体、挥发性强的物质。
◆能适用块状、薄膜状、复杂几何构型、少量粉末材料的处理
◆能实现表面清洗、活化、有机物沉积、接枝、消毒、刻蚀等处理要求。
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