首页 > 产品中心 > 等离子清洗设备 > GY-QX系列 等离子清洗机
1、产品特点
◆处理均匀性好
◆射频等离子，不损伤基板
◆严格验证的放电电极结构
◆高密度等离子发生电源
* 等离子发生效率高，处理效率快
* 化学物理作用同时进行
◆参数设定范围广
◆可以使用多种气体
◆全自动操作
◆设备稳定性好、维护简单、方便拆洗
◆完善的设备报警系统
2、应用领域
◆CCM摄像头模组、LCD显示模组、触摸屏清洗
◆COB、COG、COF、ACF工艺打线、焊接前处理
◆LED光源、LED支架清洗、LED封装前清洗
◆陶瓷、玻璃、橡胶、塑料的表面清洗与活化，提高粘结力及附着力等。
3、典型案例
4、主要技术参数
|
NO |
项目 |
规格 |
备注 |
||
|
GY-QX01 |
GY-QX02 |
GY-QX03 |
|||
|
1 |
设备尺寸 |
780x1000x2145 |
1154x1064x2145 |
1354x1214x2145 |
WxDxH,含底轮指示灯 |
|
2 |
总重量 |
443KG |
486KG |
534KG |
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|
3 |
电力需求 |
380V |
380V |
380V |
|
|
4 |
腔体尺寸 |
不锈钢 400x450x400 |
不锈钢 500x550x500 |
不锈钢 600x650x600 |
WxDxH |
|
5 |
真空泵形式 |
机械泵 |
机械泵+罗茨泵 |
机械泵+罗茨泵 |
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6 |
处理时间 |
1-15min |
1-15min |
1-15min |
依产品定 |
|
7 |
可使用气体 |
Ar、O2、N2、N2+H2、 |
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8 |
等离子发生源 |
RF，500W |
RF，500W |
RF，1000W |
依产品定 |
|
9 |
托盘系统 |
340x345 |
440x445 |
540x545 |
|
|
10 |
载物层数 |
6 |
8 |
10 |
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11 |
控制系统 |
PLC+触摸屏 |
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12 |
可根据客户需求定制 |
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4、外形图示
|
型号尺寸（mm） |
GY-AX01 |
GY-QX02 |
GY-QX03 |
|
A |
500 |
600 |
700 |
|
B |
780 |
1154 |
1354 |
|
C |
1000 |
1064 |
1214 |
|
D |
1662 |
1662 |
1662 |
|
E |
2145 |
2145 |
2145 |
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